④惰性气体起泡系统代替空气镇流器,用于冷却和脱气油 ⑤一种特殊的环氧树脂涂料涂在油壳上,为泵提供额外的保护
①比Adixen标准系列泵运行更安静 ②低工作温度减少油蒸汽回流,同时提高极限真空
管理解决方案分子污染(计量和过程) 该中*开发的真空泄漏检测和管理解决方案,分子污染的新概念。
压力安全阀 固有的故障安全保护系统确保无剩余压力 动态自监测
拆卸简便的电磁线圈系统 不含LABS 带制动装置的标准手动应急控制
自由交叉式切换,即便在供气面积很小时也能保证切换功能 即便在电源故障时也能提供安全保障 (单稳态设计) 带制动装置的手动应急控制